洁净室
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原行所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室工艺平面布置应合理、紧凑,室内只布置必要的工艺设备,以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染,人员在进入洁净区之前,必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒,同时各种物件在送入洁净区前也必须经过净化处理,物料净化路线与人净化路线应分开,如果物料与人员只能在同一处进入洁净室,也必须分门而入,物料先经过粗净化处理。